μSCAN系列掃描系統(tǒng)為我司近期推出的高性能一體式系統(tǒng)，整機采用了高剛性的花崗巖作為底座，配合高性能直線電機及伺服平臺，主要用于高精度掃描、加工、檢測等應用。標準行程參數選擇支持快速出貨，大大減少了客戶自己組合搭配不熟悉導致的組合缺陷及調試不熟悉導致的性能短板。
μSCAN系列主要特征
?XY軸為U1系列高性能直線電機平臺組成（迷宮式密封防護效果好沒有易損件和粉塵）
?R軸為高精度扁平化DD馬達
?Z軸標配U3系列高精度伺服電機平臺（可選配NFZ240高性能直線電機平臺）
?底座為濟南青或印度黑等高性能石材，精度可選0級或00級
?可根據應用要求選配機架及隔振系統(tǒng)
?XY運動系統(tǒng)經過優(yōu)化，支持快速啟停、連續(xù)整定應用（10kg負載2mm行程運動加整定＜30ms（運動時間20ms，整定時間5-8ms））*1
| 規(guī)格\軸（從下往上） | Y軸 | X軸 | R軸 | Z軸 |
| 標準軸型號 | UILM320-XX | U1LM240-XX | DDR224 | U3SVM210-XX |
| 行程 | 100/200/300/400 | 100/200/300/400 | 360° | 50/100/200/300 |
| 光柵分辨率 | 100nm | 100nm | 1sec | — |
| 重復定位精度 μm | ≤1μm（±0.5） | ≤1μm（±0.5） | ≤1sec | ≤3μm（±1.5） |
最大速度 *2 | 1000mm/s | 1000mm/s | 4rps | 200mm/s |
| 最大負載 kg | 50kg | 30kg | ||
| 電機推力 | 220N/440N（峰值） | 330N/660N（峰值） | 20Nm | — |
| 運動平面度 um | ≤±5μm | ≤±5μm | ≤5μm | ≤±5μm |
