高定位精度、高速度穩(wěn)定性、
低跳動誤差、載荷能力強，
可用于晶圓加工檢測、生物檢測、光學檢測等高精度要求行業(yè)。
ABRX-M200直驅氣浮轉臺
可側向放置使用，不會出現(xiàn)氣浮抱死的問題；
采用直驅電機驅動，轉矩高，在低速或高速時轉動平滑；
氣浮轉臺徑向剛度大，可應用于曲面微加工或測試，在斷電旋轉和自動旋轉時跳動誤差保持一致。
| 規(guī) 格 | 參 數(shù) |
| 電機扭矩 | 0.32Nm額定1.2Nm峰值 |
| 最大轉速 | 1000rpm |
| 編碼器線數(shù) | 7200line |
| 編碼器分辨率 | 0.45sec（數(shù)字量對應0.1μm，可選1vpp更高分辨率） |
| 重復定位精度 | ≤±1sec |
| 軸向最大負載（5bar） | 800N |
| 徑向最大負載（5bar） | 200N |
| 軸向最大剛性（5bar） | 320N/μm |
| 徑向最大剛性（5bar） | 85N/μm |
| 軸向最大跳動* | <100nm |
| 徑向最大跳動* | <100nm |
| 綜合耗氣量 | 18NL/min |
