NF240-Z直線(xiàn)電機(jī)平臺(tái)應(yīng)用于Z軸
采用直線(xiàn)電機(jī)
具有精度高，負(fù)載大、速度快等優(yōu)點(diǎn)
帶配重平衡和導(dǎo)軌剎車(chē)
NF240-Z直線(xiàn)電機(jī)平臺(tái)應(yīng)用于Z軸
采用直線(xiàn)電機(jī)
具有精度高，負(fù)載大、速度快等優(yōu)點(diǎn)
帶配重平衡和導(dǎo)軌剎車(chē)
| 參 數(shù) | NF240-Z100 | -Z200 |
| 有效行程 mm | 100 | 200 |
| 光柵分辨率 nm | sin\cos 4.88nm（可選其他更高分辨率） | |
| 重復(fù)定位精度 | ±150nm | |
| 定位精度 | ±300nm | |
| 平面度 μm | ≤±2.5 | ≤±3.5 |
| 直線(xiàn)度 μm | 1.5 | 2 |
| 電機(jī)類(lèi)型 | 雙直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) | |
| 電機(jī)推力 | 額定60N/峰值210N | 額定120N/峰值420N |
| 最小步長(zhǎng) | 50nm（搭配nanopwn或者線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)器） | |
| 最大速度 | 300mm/s | |
| 最大負(fù)載 | 25kg（采用氣動(dòng)恒力彈簧平衡） | |
