規(guī)格\軸 | X | Y | Z |
行程 | 400mm | 400mm | 300mm |
電機(jī)類型 | 無(wú)鐵芯直線電機(jī) | 無(wú)鐵芯直線電機(jī) | 伺服電機(jī) |
電機(jī)推力 | 額定146N 峰值500N | 額定219N 峰值750N | - |
光柵分辨率 | 100nm | 100nm | - |
重復(fù)定位精度 | ≤±1um | ≤±1um | ≤±3um |
定位精度 | ≤±2um | ≤±2um | ≤±5um |
最大速度 | ≥500mm/s | ≥500mm/s | ≥100mm/s |
最大加速度（負(fù)載） | ≥1.5G | ≥1G | - |
直線度 | ≤±1um | ≤±1um | ≤±1um |
平面度 | ≤±4um | ≤±4um | ≤±5um |
最大負(fù)載 | 50kg | 50kg | 30kg |
限位類型 | 軟件、光電、機(jī)械三種限位 | ||
本體材質(zhì) | 航空級(jí)鋁合金7075-T6 | ||
表面處理方式 | 噴砂黑色陽(yáng)極氧化 | ||
基座材質(zhì) | 濟(jì)南青or印度黑 00級(jí)花崗巖底座 | ||
機(jī)架 | 方管焊接式整體機(jī)架 | ||
隔振器 | 高彈發(fā)泡聚氨酯隔振墊及圓弧面調(diào)平機(jī)構(gòu) | ||
